Praxair, 삼성전자에 헬륨ㆍ수소 공급
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탕정 TFT-LCD 공급계약 … 화성 300mm 반도체 Fab에는 질소 계약 Praxair가 삼성전자의 탕정 소재 TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display) 콤플렉스 인근 부지를 매입해 헬륨(Helium) 및 수소(Hydrogen) 플랜트를 비롯해 공기분리 플랜트를 건설할 계획이다.삼성전자가 2004년 3/4분기 가동에 들어갈 예정인 탕정 TFT-LCD 플랜트의 수소, 헬륨, 질소(Nitrogen) 및 아르곤(Argon) 공급기업으로 Paxair를 선정했기 때문이다. Praxair는 또한 삼성전자의 화성 소재 300mm 반도체 Fab 플랜트에도 초고순도 질소를 공급하게 된다. 고순도 질소 공급계약의 일환으로 Praxair는 2004년 안으로 기흥에 공기분리 플랜트를 건설할 계획이다. 또 최근 Air Products는 삼성전자에 암모니아(Ammonia), 아르곤, 질소, Nitrogen Trifluoride, 산소 및 Silane을 공급하기 위해 공기분리 플랜트를 건설할 계획인 것으로 알려졌다. Praxair는 석유 및 가스유전 개발 붐을 타고 앨라배마주 Prentiss 및 Ft. Saskatchewan 소재 액화질소 플랜트의 생산능력을 1일 생산능력 650톤 증설할 계획으로, Prentiss 플랜트는 7월에, Ft. Saskatchewan 플랜트는 2004년 말 가동에 들어갈 예정이다. Praxair는 또한 같은 부지내 액화질소 저장고 및 Truck-Filling Capacity도 확대할 계획인 것으로 알려졌다. <Chemical Journal 2004/03/18> |
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