AGC, 태양전지용 타겟 공급 확대
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AZO 아킹 감축 기술개발 주력 … 2008년 샘플 출하 2009년 실용화 Asahi Glass 자회사 AGC Ceramics가 박막형 태양전지용 스패터링 타겟 수요확대에 적극 나설 방침이다.AGC Ceramics는 후면 전극용으로 산화아연(ZnO)계 타겟을 공급하며 시장요구에 부응한 신제품 개발에 박차를 가한다. 이에 따라 알루미늄 첨가 산화아연(AZO)의 과제였던 Arcing(이상방전) 감축에 주력할 계획이다. 이미 개발 성공단계에 들어섰으며 2008년 여름에는 연구 수준의 샘플 출하에 들어갈 예정이다. AGC Ceramics는 유리 표면에 박막소재기술 등을 살려 각종 타겟을 제조ㆍ공급하고 있다. 태양전지 분야에서는 아몰퍼스 실리콘을 비롯한 박막형 투명전극막에 주력해 일본 시장점유율 50% 정도를 차지하고 있다. 투명 도전막 타겟에서 디스플레이용은 ITO(Indium Tin Oxide)가 주류이지만 태양전지용은 에칭 특성이 요구되지 않아 산화아연계가 채용되고 있다. AGC Ceramics는 주력 AZO와 더불어 막질 재현성과 내구성 등이 뛰어난 갈륨 첨가 산화아연(GZO)을 추구하고 있다. 하지만, AZO는 아킹 감축이 과제로 대두되고 있다. 아킹이 발생하면 제조 라인이 중단될 가능성이 있어 가동률 하락을 우려하는 고객들로부터 개선이 요구되고 있기 때문이다. 이에 따라 AGC Ceramics는 신규 그레이드 개발을 추진해 투과율 등 기존 성능을 유지하면서 아킹 감축을 목표로 내걸고 있다. 아킹은 성막시간이 길수록 발생하기 쉬운데, 초기 수준으로 억제할 계획이다. 2008년 여름 연구실 수준에서 샘플을 출하하고 2009년에는 실용화할 방침이다. <화학저널 2008/04/30> |
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