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다우코닝(Dow Corning)은 HCDS(Hexachlorodisilane) 생산능력을 대폭 확대해 글로벌 공급체계를 강화한다.
다우코닝은 반도체 생산에 투입되는 고순도 전구체인 HCDS 생산능력을 확대함으로써 수요기업에게 고품질제품을 검증된 공급원으로서 제공한다고 7월7일 발표했다.
HCDS는 고순도 전구체로서 메모리 및 로직 반도체 칩 생산을 위한 고급 박막 증착공정 등에 투입되고 있다.
켄 사이버트(Ken Seibert) 다우코닝 반도체소재 개발 책임자는 “다우코닝과 헴록(Hemlock)은 클로로실란(Chlorosilanes)과 메틸실란(Methylsilanes), 모노실란(Monosilane) 등 고품질 특수가스 전구체를 글로벌 반도체기업에게 안정적으로 공급해 왔다”며 “다우코닝은 글로벌 고객들의 수요를 충족시키는 고순도 HCDS의 안정적인 공급을 공고히 하기 위해 다우코닝만의 유해물질 처리 노하우, 전문성 및 경험을 계속 적용시켜 나갈 것”이라고 강조했다.
다우코닝은 생산능력 확대에 따라 반도체기업의 수요에 부합하는 HCDS의 생산이 가능해질 전망이다.
마이클 텔젠호프(Michael Telgenhoff) 다우코닝 반도체 재료공정 엔지니어링 책임자는 “다우코닝은 모노실란의 안전한 관리 능력과 더불어 고품질 HCDS를 일관되고 신뢰있는 공급을 보장하기 위해 안전절차를 면밀히 검사해 왔다”고 강조했다.
HCDS는 안정적이고, 변동성이 적으며 수분에 민감한 특징이 있으며 고품질 실리콘 산화막 및 질화 실리콘 박막 증착을 추가함으로써 실란(Silane) 및 디클로로실란(Dichlorosilane)의 저온 대안물질로서의 각광받고 있다. <강슬기 기자>