화학뉴스

일본기업이 한국에서 EUV(극자외선) 포토레지스트 양산에 나서 주목된다.
일본 TOK는 2019년 봄부터 한국법인 TOK첨단재료 인천공장을 통해 EUV 포토레지스트 생산을 추진했으며 최근 양산이 가능해진 것으로 알려졌다.
TOK 인천공장은 한국은 물론 중국에도 ArF(불화아르곤) 액침 레지스트를 공급하며 높은 수준의 가동률을 유지하고 있으며 생산설비 증설을 통해 EUV 레지스트 생산체제를 확보했다.
최근 국내 매체와의 인터뷰에서 수요기업이 원하는 시기에 공급이 가능한 상태라고 밝히면서 국내 반도체 전문가들은 삼성전자가 TOK첨단재료의 EUV 포토레지스트를 반도체 공정에 적용하기 위해 테스트를 진행하고 있는 것으로 파악하고 있다.
EUV용 포토레지스트는 삼성전자가 비메모리 라인에서 사용하는 소재이며, SK하이닉스는 D램 등 메모리 반도체 사업이 주력이기 때문에 삼성전자가 더 많은 관심을 나타낼 것으로 분석되고 있다.
반도체 관계자는 “생산공정 적용 테스트를 하려면 양산라인에서 해야 한다”며 “국내에서 EUV용 포토레지스트를 사용하는 곳은 삼성밖에 없고 SK하이닉스는 연구용으로 소량 사용하는 정도”라고 주장했다.
EUV용 포토레지스트는 일본 정부가 2019년 7월부터 수출을 규제한 품목 가운데 하나이다.
일본 반도체 소재 생산기업들은 일본 정부가 반도체·디스플레이 제조에 필요한 핵심 소재인 포토레지스트, 불화수소, 불소계(Fuluorine) PI(Polyimide) 등 3개 품목의 한국 수출을 일반포괄허가 대상에서 개별허가 대상으로 변경한 이후부터 한국 생산을 확대하고 있다.
간토덴카(Kanto Denka)는 반도체용 특수가스인 황화카르보닐을 천안 공장에서 생산하기 시작했고, 반도체용 필름인 솔더레지스트 분야에서 세계점유율 1위인 다이요홀딩스(Taiyo Holdings)는 2020년 5월 충남 당진 투자를 발표했다. (K)