화학뉴스

중국이 반도체용 특수가스 공급능력을 확대하고 있다.
중국 산업가스 메이저 Huate Gas는 반도체·LCD(Liquid Crystal Display) 공정에서 쓰이는 특수가스 생산능력을 대폭 확대하고 있다. 중국의 전기·전자용 고순도 가스 국산화율이 20%에 미치지 못하는 가운데 정부의 자급화율 향상 정책에 맞추어 빠른 속도로 투자를 확대할 방침이다.
Huate Gas는 할로겐화 탄화수소를 비롯한 전자용 범용가스와 특수가스를 공급하고 있다. 
특수가스 라인업은 40여종에 달해 중국기업 가운데 가장 다양하며 2024년 3월 기준 광둥성(Guangdong) 포산시(Foshan), 후난성(Hunan) 사오양시(Shaoyang), 장시성(Jiang) 주장시(Jiujinag) 등 3곳에서 공장을 가동하고 있다.
Huate Gas는 장쑤성(Jiangsu) 남부 루가오시(Rugao)에도 플루오로카본(Fluorocarbon) 2000톤 신규 공장과 연구소를 건설할 계획이다. 
2026년부터 실리콘(Silicone) 웨이퍼 플라즈마 에칭용 NF3(삼불화질소)와 고순도 이산화탄소(CO2)와 아산화질소(N2O) 등을 생산할 예정이며 총 투자액은 약 10억위안(약 1896억원) 수준으로 예상된다.
광둥성 쓰후이시(Sihui), 쓰촨성(Sichuan) 청두시(Chengdu)에서도 반도체 공정용 가스공장을 신규 건설을 계획하고 있다.
2023년에는 주장시 소재 공장에서 수소화 게르마늄 10톤, 셀렌화 수소 40톤, 인화수소(포스핀) 10톤 등의 생산을 개시했다. 실리콘 성막을 위한 화학적 기상증착공정용(CVD) 디실란(Si2H6) 시험생산도 시작했으며 육불화프로필렌(C3F6), 고순도 일산화탄소(CO) 및 일산화질소(NO) 등 범용가스 증설에도 착수했다.
Huate Gas는 SMIC, Huahong Grace, YMTC를 포함해 중국 9인치 및 12인치 대구경 실리콘 웨이퍼 생산기업 90%에게 가스제품을 공급하고 있으며 10나노 이하 첨단칩 프로세스 채용실적도 확보한 것으로 알려졌다.
미국, 독일, 한국 등 글로벌 반도체 메이저를 수요기업으로 확보하고 중국에서 유일하게 엑시먼(Excimer) 레이저용 가스가 네덜란드 ASML 및 일본 기가포톤(Gigaphoton) 인증을 취득했다.
Huate Gas는 글로벌 사업 확대에도 주력해 2022년 싱가폴기업을 인수하고 가스 충진·물류기지를 건설했으며 타이에서도 산업가스 제조·판매법인을 설립했다. 
북미, 한국, 일본, 타이완, 동남아시아에도 가스제품을 수출하고 있는 것으로 알려졌다. (윤)