NF3, PFC 대체재로 급부상
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2010년 PFC 배출량 10% 감축 … NF3 세정속도 12배 빨라 PFC(Perfluorocarbons)는 반도체산업에서 오랫동안 Plasma Chamber Cleaning Gas로 사용됐으나 환경문제에 대한 우려가 커짐에 따라 WSC(World Semiconductor Council)가 1999년 감축대상으로 지정했다.WSC에 따르면, 반도체 플랜트의 PFC 컴파운드 배출량은 2010년까지 10% 이상 감축될 것으로 예상된다. 대체물질로는 NF3(Nitrogen Trifluoride)가 사용될 것으로 보인다. NF3도 PFC 컴파운드이지만, 응용과정에서 효과적으로 파괴되기 때문에 기타 PFC보다 유해물질 방출량을 90%까지 감축할 수 있으며 세정능력이 4-12배 빠른 것으로 나타났다. Kline에 따르면, NF3의 세계 소비량은 1990년대 10만파운드(45.4톤) 이하에서 900-1000톤으로 크게 증가했고 2001-06년 연평균 15% 증가할 것으로 전망된다. 주요 NF3 생산기업에는 Air Products & Chemicals, Central Glass, Mitsui Chemicals, Kanto Denka Kogyo, DuPont(2000년 Advanced Specialty Gases 인수) 및 BOC Edwards가 있다. NF3 공급기업으로 세계시장을 선도하고 있는 Air Products의 전자기술 사업은 2002년 EPA의 Climate Protection Award를 수상했다. 표, 그래프 | 일본의 특수가스 수요(2001) | <화학저널 2003/7/21> |
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