일본, 데이터센터 투자 회복으로 수요 증가 … 반도체용도 시황 개선
화학뉴스 2021.01.06
특수가스는 5G(5세대 이동통신) 보급을 타고 수요가 증가할 것으로 기대되고 있다.
특수가스는 크게 고순도 가스, 반도체 소재 가스, 표준 가스 등 3종으로 구분하며 최근 5G산업 본격화를 타고 일부 품목들은 수요가 가파르게 증가하고 있다.
다만, 반도체 소재 가스는 2019년 글로벌 반도체 시장 불황으로 감산을 추진해야 할 만큼 타격이 컸고 2020년에도 2019년과 비슷한 수준에 머무를 것으로 예상되고 있다.
그러나 앞으로 반도체 미세화 및 적층화가 진행되면 가스 사용량이 늘어나고 시황이 개선될 것으로 기대되고 있다.
5G 관련 분야는 데이터센터 투자가 회복되고 있고 코로나19(신종 코로나바이러스 감염증) 사태 속에서도 수요 증가세가 이어짐으로써 시장이 계속 성장하고 있다.
일본 산업‧의료가스협회는 20종의 가스를 대상으로 2019년 일본 내수 동향을 조사했고 수요량이 연간 1000톤을 넘는 가스는 3종이었다고 밝혔다.
수요가 가장 많은 고순도 암모니아(Ammonia)는 LED(Light Emitting Diode), LCD(Liquid Crystal Display) 패널 제조공정에서 질화막을 형성하는데 투입되며 수요는 2871톤으로 전년대비 1% 감소한 것으로 나타났다.
삼불화질소(NF3)는 1581톤으로 5.1% 증가했고 수요량 기준으로 여전히 상당 비중을 차지하고 있다. LCD 패널 세정용 사용량이 많은 것으로 알려졌다.
CVD(화학기상증착법) 프로세스에서 절연산화물을 형성하는데 사용하는 이산화이질소(N2O)도 2015년에 수요가 1000톤을 돌파한 이후 1000톤 이상을 유지하고 있다. 2019년에는 1043톤으로 1.3% 증가했다.
옥타플루오로시클로부탄(C4F8)은 수요가 23.4% 급증하는 등 높은 성장세를 나타내고 있다. 반도체, 디스플레이 생산에서 산화물 에칭에 투입되는 가스로, 일본기업 중에서는 중국에 신규공장을 건설하는 계획을 세우고 있는 곳이 많으며 일본 뿐만 아니라 해외 수요도 계속 증가할 것으로 예상되고 있다.
보호막과 절연막을 형성할 때 사용하는 TEOS도 매년 안정적으로 성장하고 있다. 2019년 수요는 7.6% 증가하면서 800톤을 넘어섰고 최근 6년 사이 2배 가까이 늘어난 것으로 파악되고 있다. (K)
표, 그래프: <일본의 반도체용 특수가스 수요(2019)>
<화학저널 2021/01/06>
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