화학뉴스

SK하이닉스(대표 곽노정)가 반도체 생산기업 최초로 네온(Ne) 가스 재활용 기술을 개발했다.
네온은 희소가스 중 하나로 반도체 노광공정에 필수적인 엑시머 레이저 가스의 주요 성분이며 레이저 광원으로 활용할 때 화학적으로 분해되거나 변형되지 않는다는 특징이 있어 1번 사용한 후 불순물 제거 등의 분리·정제를 거쳐 재활용할 수 있다.
SK하이닉스는 국내 반도체용 특수가스 생산기업 TEMC와 노광공정 이후에 스크러버(반도체 생산공정 중 발생하는 가스‧화합물 등을 걸러내고 제거하는 장치)를 통해 공기 중으로 배출되던 네온 가스를 수집 탱크에 포집하고, TEMC의 가스처리 과정을 통해 네온만 선택적으로 분리해 정제하는데 성공했다.
정제한 네온은 다시 SK하이닉스의 반도체 제조공정에서 사용하며 네온 회수율은 현재 72.7%에서 정제수율을 개선해 77%까지 높일 계획이다.
SK하이닉스는 네온 재활용 기술을 반도체 팹(Fab)에 적용하면 연간 400억원 상당의 네온 구매비용이 줄어들고 네온 생산 과정에서의 온실가스 배출량(스코프3)을 이산화탄소(CO2) 환산 기준 1만2000톤 가량 줄이는 효과를 창출할 것으로 기대하고 있다.
기술 개발을 주도한 SK하이닉스 탄소관리위원회 소재 재활용 분과는 반도체 공정에서 화학적으로 분해·변형되지 않는 모든 소재의 재활용을 최종 목표로 하고 있으며 2025년까지 네온, 중수소, 수소, 헬륨 등 4개 가스와 황산 등 화학소재를 비롯해 총 10개 원자재의 재활용 기술을 개발할 계획이다.
SK하이닉스는 2024년 2월 재활용 소재 사용 중장기 로드맵을 발표하고 2025년까지 재활용 소재 비율을 25%, 2030년까지 30% 이상으로 늘리겠다는 목표를 밝힌 바 있다.
SK하이닉스 관계자는 “해외 의존도가 높은 소재의 수급 문제를 해결하면서 반도체 밸류체인에 걸쳐 배출되는 온실가스를 감축해 경쟁력을 높이고 환경문제 해결에 기여하겠다”며 “앞으로도 전문성을 갖춘 협력기업들과의 파트너십을 더욱 발전시키겠다”고 강조했다. (강)