화학뉴스

제온(Zeon)이 COP(Cycloolefin Polymer)로 반도체 용기 공략에 나서 주목된다.
제온은 아웃가스 배출량이 적고 수율 향상에 기여하는 COP를 활용해 보다 청정한 특성이 요구되는 첨단 반도체 분야에 대한 공세를 강화하고 있다.
웨이퍼를 격납하는 용기와 회로 원판용 수요가 꾸준하며 기존의 의료 분야 용기 용도와 신제품 개발을 추진하고 있는 광학 용도까지 포함해 COP 사업 확대에 박차를 가할 예정이다.
반도체산업은 용기의 아웃가스 배출량이 적어야 하고 불순물 포함량은 많으면 안되기 때문에 일반적으로 PC(Polycarbonate)가 주력 용기 소재로 사용되고 있다.
그러나 회로 선폭이 좁고 미세한 반도체일수록 웨이퍼와 회로 원판에 이물질이 쉽게