효성, 일본 NF3 생산재개 주시
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간토덴카, 1850톤 가동 재개 … 미츠비시케미칼, 생산 중단
윤우성 선임기자
화학뉴스 2025.10.15 일본 간토덴카(Kanto Denka)가 반도체 제조용 특수가스인 NF3(삼불화질소) 생산을 재개했다. NF3는 반도체·디스플레이 공정에서 이물질 세척에 쓰이는 특수가수로 글로벌 반도체 슈퍼사이클 진입에 대한 기대감으로 수요가 꾸준히 증가하고 있다.
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