반도체 테스트 “한국산 장비 평정”
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MEMS Probe Card 국내시장 40% 차지 … 세계시장의 10%대 점유 차세대 반도체 테스트장비인 국산 MEMS (Micro Electro Mechanical System) Probe Card가 반도체 생산 증대 및 LCD 투자 확대로 2004년 상반기 매출이 2배 이상 증가하는 등 국산 기술 경쟁력이 우위를 확보해 가고 있다.MEMS 기술을 활용한 Probe Card는 국내기업이 핵심특허를 보유해 제품화에 성공한 기술로 2002년 특허청에서 100대 우수특허에 선정되고, 2003년 과학기술부에서 장영실상을 수상한 바 있다. 특허청에 따르면, 국내 MEMS Probe Card 시장의 국내기업 시장점유율은 40%로 세계 시장의 10%를 차지하고 있으며, 최근 시장점유율이 급격히 상승하고 있다.
Prebe Card는 반도체, Display의 제작 도중 또는 후에 성능을 테스트하기 위해 Wafer와 테스트 장비를 연결시켜 주는 장치로 MEMS Probe Card란 Wafer 위에 수 ㎛ 수준의 초미세 구조물을 제작하는 미세가공기술인 MEMS 기술을 활용해 초미세 탐침을 배열한 조립체를 말한다. Probe Card에 MEMS 기술을 활용함으로서 Wafer Label로 Probe Card를 만들 수 있어 기존의 수동 조립기술에 비해 시간 및 비용을 1/4 이하로 대폭 줄일 수 있어 MEMS Probe Card가 기존의 Probe Card 시장을 급속히 대체할 것을 예상되고 있다. 한편, 세계 Probe 관련 시장규모는 연간 7억달러로 2008년에는 10억달러를 상회할 것으로 예측되는 가운데 MEMS Probe Card 등 차세대 Probe Card가 전체 시장의 40%를 차지해 향후 연평균 20-30%의 성장세를 보일 것으로 전망되고 있다. <주인경 기자> <화학저널 2004/10/05> |
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