Air Products & Chemicals은 자사의 독점기술을 채용해 펜실베니아주 Hometown 소재 NF3(Nitrogen Trifluoride) 플랜트 생산능력을 2000년초까지 80만파운드로 60% 확장할 계획이다. 99년말까지 50만파운드로 확장한다. 반도체 및 차세대 전자제품/기기용 수요증가에 따른 것이다. NF3는 칩생산실의 정화에 사용되고 있는데, 기존 Hexafluoroehtane에 비해 온실가스 배출이 낮아 수요가 증가하고 있다. 평면화면 생산증가에 따라 대규모 리액터 실이 필요해 NF3 수요는 더욱 증가할 전망이다. AP는 99년말까지 NF3 생산능력을 50만파운드로 100% 확장할 계획이었으나, 수요부족에 따라 연기했었다. <CMR 99/02/01> <화학저널 1999/4/5> |
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