제조기술·정보력 통해 공급 확대 … 포토레지스트에 Miraim 적용
화학뉴스 2015.07.09
Teijin이 멤브레인을 활용한 신규사업을 본격 전개한다.
구멍직경 및 막 두께를 플랙시블하고 정밀하게 제어하는 기술을 보유하고 있으며 2나노미터까지 이물을 제거할 수 있는 평막타입 멤브레인의 제조기술이 호평을 받아 고기능 멤브레인 <Miraim>의 반도체 포토레지스트 제조용으로의 채용이 시작됐다. 앞으로는 에너지절약 및 헬스케어 분야에도 공급하고, LiB(Lithium-ion Battery) 제조용 분리막 사업과 함께 2020년 200억엔 수준으로 육성할 방침이다. 특히, Miraim 사업은 50억엔 수준으로 키우는 것을 목표로 하고 있다. 멤브레인은 LiB 분리막 및 수처리막 등에 대량 채용되고 있으나 일반적으로 동일스펙 및 양산형 시장이기 때문에 성장성 있는 용도로의 전용이 어렵다는 문제점이 있었다. Teijin은 PE(Polyethylene) 중심 멤브레인의 구멍 직경 및 막 두께, 공극률을 자유롭게 제어할 수 있는 기술을 보유하고 있으며 기능성 입자의 충진 및 표면개질을 통한 기능성 부여에 관한 정보도 가지고 있다. Teijin의 기술 및 정보력이 인정받아 2014년 포토레지스트 제조용 필터카트리지 제조기업에게 공급을 시작했다. Teijin의 분리막은 구멍 크기 20나노미터에서 3마이크로미터, 두께 4-200마이크로미터 범위에서 제어할 수 있으며 구멍 직경과 막 두께의 분포가 경쟁기업에 비해 매우 날카롭다는 장점이 있다. 공극률은 최대 90%까지 향상시킬 수 있으며 다양한 수지 및 세라믹 등을 담지시킬 수 있을 뿐만 아니라 1나노미터 오더의 이물까지 제거 할 수 있도록 성능향상 및 포토레지스트의 고도화를 추진할 예정이다. 방수 투습막을 활용해 에너지절약 분야도 개척할 방침이다. 열교환기능을 갖추고 있는 열펌프 용도 등을 고려한 연료전지의 전해질막으로의 적용도 계획하고 있다. Teijin은 융합 및 복합화의 일환으로 Teijin Farmer 등과의 제휴로 세포배지시트 및 세균 관련 필터 등의 용도 확대를 추진할 예정이다. 현재 Matsuyama 사업소에 월 생산능력 수천-수만㎡의 소형 양산기기를 보유하고 있으며, 포토레지스트용 의 채용을 확대하고 열펌프용 영업실적이 성공을 거두면 차기 증설도 검토할 예정이다. <화학저널 2015/07/09> |
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