
SCC, 타이완‧미국‧중국 다원화 … 포토레지스트 생산 2.3배 증설
스미토모케미칼(Sumitomo Chemical)이 반도체 소재 설비투자를 확대한다.
스미토모케미칼은 2022년 시작하는 3개년 경영계획에서 반도체 프로세스용 소재에 300억-500억엔을 투입할 방침이다.
현재 진행하고 있는 경영계획의 1.5-2.5배에 달하는 수준이며, 첨단 반도체 회로 형성에 사용하는 포토레지스트 공장을 신규 건설하고 한국과 일본에서 반도체 세정용 고순도 화학약품 생산능력을 확대할 계획이다.
글로벌 반도체 생산기업들은 5G(5세대 이동통신) 보급 등으로 반도체 수요가 증가함에 따라 대규모 투자를 추진하고 있다.
스미토모케미칼은 첨단 반도체 프로세스용 액침 ArF(불화아르곤) 레지스트 시장에서 높은 점유율을 확보하고 있는 가운데 2025년 이후로 예상되는 수요에 대응하기 위해 신규 공장을 건설할 방침이다.
2024년 가동을 목표로 후보지를 검토하고 있으며 100억엔 이상을 투입할 것으로 알려졌다.
오사카(Osaka) 공장에서는 2022년 상반기 상업가동을 목표로 액침 ArF, EUV(극자외선) 등 첨단 반도체 프로세스용 레지스트 생산능력을 2019년에 비해 1.5배 확대하는 공사를 진행하고 있다.
신규공장을 건설함으로써 총 생산능력을 약 2.3배 확대할 계획이며, 신규공장은 추가 증설을 고려해 확장할 수 있도록 설계할 방침이다.
일본과 한국, 중국에서 생산하고 있는 반도체 세정용 고순도약품도 증설을 추진하고 있다.
일본 에히메(Ehime) 공장은 고순도 황산 생산능력을 약 2배 확대하고 한국 자회사인 동우화인켐은 고순도 암모니아수를 약 20% 증설할 계획이다. 모두 2024년 가동을 목표로 하고 있다.
중국에서는 장쑤성(Jiangsu)의 창저우(Changzhou), 산시성(Shaanxi)의 시안(Xian)에 황산, 암모니아수, 과산화수소수 등 고순도약품 생산체제를 구축하고 있는 가운데 중국에 진출한 반도체 생산기업의 생산계획 및 고품질제품 수요에 맞춰 증설을 검토할 방침이다.
오사카 공장은 품질관리를 강화하고 EUV 레지스트 개발을 가속화하기 위해 2022년 완공을 목표로 최신 클린룸, 평가장치를 포함한 최첨단 반도체용 포토레지스트 개발·평가센터를 건설하고 있다. 
EUV 레지스트는 후발주자이지만 2020년 여름 데이터 보존에 사용하는 D램(DRAM)에 채용된데 이어 연산을 담당하는 로직용으로도 수요처 인증을 취득했다.
스미토모케미칼은 반도체 수율을 좌우하는 파티클을 제어하는 품질관리기술, 생산성 향상으로 이어지는 고해상화를 실현하는 설계능력을 바탕으로 EUV 시장을 개척하고 있다.
스미토모케미칼의 반도체 소재 사업은 포토레지스트, 반도체 세정용 고순도약품, 차세대 파워반도체 소재 등 화합물 반도체 소재 중심으로 구성돼 있으며 매출액은 1000억엔대 초반을 유지하고 있다.
첨단 반도체용 액침 ArF 레지스트는 글로벌 1위를 차지하고 있고 최첨단 반도체 제조에 필수적인 EUV 레지스트도 2020-2021년 채용실적이 꾸준히 증가하고 있어 2023년경에는 수익이 가시화될 것으로 기대하고 있다.
2022년에는 오사카 공장의 회로 성형용 포토레지스트 생산능력을 1.5배 확대하고 5G(5세대 이동통신) 보급을 타고 반도체 시장이 예상보다 빠르게 성장하고 있어 추가 증설도 검토하고 있다.
특히, 원료가 반도체 레지스트의 성능과 품질, 코스트 경쟁력, 공급안정성을 좌우한다는 판단 아래 원료 생산을 확대하는 방안을 검토하고 있다. 레지스트 생산능력 확대와 함께 원료 자체생산 비중을 확대할 방침이다.
사업기반 확충을 위해 현재 한국을 중심으로 공급하고 있는 반도체약품을 다른 지역에도 공급함으로써 새로운 수익원을 창출할 계획이다.
동우화인켐은 반도체 레지스트 일부와 고순도약품을 생산하고 있으며 개발기능을 활용해 반도체 제조공정 중 세정 및 박리에 사용하는 약품을 수요기업의 요구에 맞추어 커스터마이징해 공급하는 기능성 케미칼 사업도 영위하고 있다.
앞으로 기능성 케미칼 사업을 타이완, 미국, 일본, 중국 등 다른 지역으로 확대 적용하고, 2022년부터 추진하는 3개년 경영계획 기간에 기능성 케미칼 사업의 글로벌 생산‧공급체제 방향성을 제시할 방침이다.
스미토모케미칼은 반도체 제조공정용 소재와 화합물 반도체 소재 등 반도체 소재 사업 매출액을 2020년대 후반에 2000억엔으로 2배 이상 확대하는 것을 목표로 하고 있다. (강윤화 선임기자)