특수가스 수요가 반도체 회복을 타고 증가하고 있는 것으로 나타났다.
특수가스는 크게 고순도 가스, 반도체용 가스, 표준가스로 구분된다. 특수가스 시장은 2023년 반도체 부진의 영향으로 침체를 겪었으나 2024년부터 AI(인공지능) 붐으로 글로벌 반도체 시장이 회복하면서 관련 수요가 급증하고 있다.
특수가스 시장을 선도하는 일본은 반도체 소재 가스 시장이 빠르게 회복하고 있다.

일본 산업·의료가스협회에 따르면, 일본의 고순도 암모니아(NH3) 가스 판매량은 2024년 2908톤으로 전년대비 84.1% 폭증했다. 2020년, 2021년에 4000톤 이상이었던 점을 고려하면 2025년 이후로도 더욱 증가할 것으로 예상된다.
고순도 암모니아는 LED(Light Emitting Diode), LCD(Liquid Crystal Display) 패널 제조공정에서 에피택셜, 막 성형 가스로도 사용된다.
LCD 패널 세정 용도가 주력인 삼불화질소(NF3) 판매량도 2122톤으로 53.9% 급증하면서 2000톤대를 회복했다.
반면, 화학적 기상증착법(CVD) 공정에서 절연산화막 성형에 사용하는 일산화이질소(N2O)는 2년 연속 감소해 1000톤 아래로 떨어져 907톤으로 18.5% 줄어든 것으로 나타났다.
산화막 성형, 배선층 절연막 성형에 사용하는 TEOS((C2H5O)4Si) 1059톤으로 21.8% 증가했다.
플라즈마 에칭과 세정공정에 투입하는 팔불화시클로부탄(C4F8)은 429톤으로 30.0% 급증했다. 팔불화시클로부탄 수요는 2000년 전까지 수십톤 수준에 불과했었다.